ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ (магистральные и баллонные технические и специальные газы, жидкая химия, деионизованная вода)
В технологии электронных приборов газообразные и жидкие вещества, используемые в качестве рабочей среды при получении исходных и промежуточных спец. материалов, а также при формировании и сборке дискретных полупроводниковых приборов, ИС и систем на их основе носят название технологических сред (ТС).
К газообразным ТС относят газы и их смеси, а также технологический вакуум. Газообразные ТС используются в технологических процессах, например, как носители, разбавители, травители, нейтральная среда.
Жидкими ТС являются очищенная вода, а также органические и неорганические жидкости (химикаты). Жидкие ТС используются в качестве растворителей, травителей, проявителей, электролитов и т. д.
В особый класс ТС можно выделить многофазные или дисперсные системы (эмульсии, суспензии, аэрозоли), в т. ч. и такие, которые меняют в процессе использования своё агрегатное состояние (например, фоторезисты или стеклообразные источники для диффузии).
По степени активности относительно основного объекта технологического процесса ТС делятся на агрессивные и нейтральные. Агрессивными ТС считаются кислород или галогеноводороды (в нагретом состоянии), а также растворы и смеси некоторых кислот; они используются при сплошном или размерном травлении, для получения оксидных и др. покрытий на поверхности полупроводниковой пластины. Нейтральными ТС по отношению к тем же материалам являются, например, высокий вакуум или вода и органические растворители (при комнатной температуре); применяются для защиты объекта производства от вредного влияния внешней среды или агрессивных компонентов технологического процесса, а также для транспортирования или разбавления реагентов, для очистки поверхности полупроводниковых пластин и др.
Важнейшее требование, предъявляемое к ТС - высокая чистота по основному компоненту. ТС не должны оказывать на объект производства нежелательного (побочного) физического или химического воздействия, кроме предусмотренного технологическим процессом. Наличие в ТС растворённых и взвешенных дисперсных примесей приводит к образованию дефектов в исходных и промежуточных материалах, к неконтролируемому изменению электрофизических характеристик или, в конечном счёте, к низким технико-экономическим показателям производства. Степень чистоты ТС по лимитируемым примесям в ряде случаев должна превосходить чистоту применяемых в тех же процессах основных полупроводниковых материалов. Например, в чистых технологических помещениях, где выполняются наиболее ответственные операции производства СБИС, в 1 м3 воздуха допускается содержание не более 3-35 пылинок размером 0,1-0,3 мкм; используемая в тех же процессах особо чистая вода при максимально возможном уд. электрич. сопротивлении (р=18 МОм-см при 20 С) должна быть практически свободной от органических примесей и кремнезёма, а максимальное содержание взвешенных частиц размером более 0,1 мкм (включая бактерии) в 1 л не должно превышать 1-5. Достижение требуемой чистоты ТС и её поддержание в течение всего производственного процесса является технически сложной проблемой.
Эффективное решение задачи поддержания чистоты ТС имеет важное значение в первую очередь для микроэлектроники, где ей уделяют первостепенное внимание. Для первичного (централизованного) и финишного (локального) удаления из ТС растворённых и взвешенных микропримесей, включая микроорганизмы, применяют сочетания различных физико-химических методов очистки, таких, например, как адсорбция, ректификация, дистилляция, ионный обмен, облучение ультрафиолетом, фильтрация. Наиболее универсальным и широко используемым в электронной промышленности методом очистки ТС является мембранная фильтрация (в т. ч. микрофильтрация, ультрафильтрация и обратный осмос).
Компания ENERGOKOMPLET, s.r.o. предлагает широкий выбор оборудования для обеспечения Вашего производства или лаборатории чистыми технологическими средами с контролируемыми параметрами.
Особое внимание мы уделяем системам подачи и распределения магистральных газов. С нашей помощью Вы сможете правильно организовать централизованную подачу к точкам потребления специальных технологических газов и специальных технических газов.
Совместно с нашими российскими и зарубежными партнерами мы выполняем весь цикл работ, включая проектирование технических и специальных газов, поставку необходимого оборудования и материалов и монтаж линий технических и специальных газов вне зависимости от сложности газовых систем.
